掃描電鏡有多項性能和技術指標，例如：分辨率、放大倍率誤差、低倍畸變、束流穩定性、樣品污染率、真空度、換樣品抽真空時間、開機到工作抽真空時間、樣品臺位移距離等，這些均有量化指標。其中，掃描電鏡的分辨率、放大倍數等參數又是選購考察的重要位置。

　　分辨率是掃描電鏡重要指標，它反映了儀器的綜合性能。各種類型的掃描電鏡分辨率不同，標識了儀器進入做微觀領域的尺度有差異，這也是不同檔次電鏡的賣點。用戶Z關心這個指標是否符合要求。對于廠方工程師，拍攝分辨率照片也是一項技術挑戰，要把掃描電鏡各個環節求。對于廠方工程師，拍攝分辨率照片也是一項技術挑成，要把掃描電鏡各個環節調整到Z佳狀態，選用幾乎極限的操作條件，反復拍照，直到拿出滿意照片。

　　掃描電鏡分辨率影響因素

　　電子源：

　　燈絲(電子槍)是電子源的提供者，也是掃描電鏡Z重要的部件，燈絲所發射電子的密度、束斑尺寸、能量分布將決定性影響掃描電鏡的分辨率。

　　1、鎢燈絲

　　鎢燈絲具有結構簡單、束流大、真空要求低、易更換等優點，但是由于其束流密度小、信噪比差、化學穩定性差、且使用壽命短(80-100h)，因此，在使用過程中需要高頻率的更換燈絲，以確保掃描電鏡保持較為穩定的分辨率。

　　2、CeB6燈絲

　　CeB6燈絲亮度為1000A/cm2，是鎢燈絲亮度的10倍，因此具有更高的分辨率。CeB6燈絲具有更好的抗干擾能力，工作溫度為1800K，遠低于鎢燈絲工作溫度(2800K)，燈絲揮發量相對較小，因此使用壽命基本都可達到1500h，如果再加以規范管理，使用壽命可進一步延長。

　　電子光路系統：

　　在電子光路系統中，電子槍柵極到陽極區間是受陰極蒸氣污染較為嚴重的區域，需要定時對韋氏帽、陽極等進行超聲、拋光清理才能維持掃描電鏡良好的狀態。如果清理時操作不當或者環境灰塵較多，還有可能造成光路系統的二次污染，更換燈絲的頻率越高，受污染的概率也會增大，這也是鎢燈絲掃描電鏡性能衰減嚴重的主要原因之一。