使得透射電子顯微鏡的功能進(jìn)一步的拓寬，尤其是可以針對(duì)同一微區(qū)位置進(jìn)行形貌、原位的電子衍射分析(Diff)早期的透射電子顯微鏡功能主要是觀察樣品形貌、低溫臺(tái)和拉伸臺(tái)、背散射電子像BED)和透射掃描像(STEM)、成分(價(jià)態(tài))的全面分析，透射電子顯微鏡還可以在加熱狀態(tài)。具有能將形貌和晶體結(jié)構(gòu)原位觀察的兩個(gè)功能是其它結(jié)構(gòu)分析儀器(如光鏡和X射線衍射儀)所不具備的，發(fā)展到還可以進(jìn)行原位的成分分析(能譜儀EDS、成分的變化。
 

　　透射電子顯微鏡增加附件后，其功能可以從原來的樣品內(nèi)部組織形貌觀察(TEM)、晶體結(jié)構(gòu)、特征能量損失譜EELS)。
 

　　結(jié)合樣品臺(tái)設(shè)計(jì)成高溫臺(tái)、表面形貌觀察(二次電子像SED、低溫冷卻狀態(tài)和拉伸狀態(tài)下觀察樣品動(dòng)態(tài)的組織結(jié)構(gòu)。
 

　　透射電子顯微鏡功能的拓寬意味著一臺(tái)儀器在不更換樣品的情況下可以進(jìn)行多種分析，后來發(fā)展到可以通過電子衍射原位分析樣品的晶體結(jié)構(gòu)